Home » Investigación » Grandes instalaciones científicas INMA » Servicios Científico-Técnicos disponibles en el Instituto » Microscopía y nanofabricación mediante iones de alta resolución. Cryo-HIM
Este microscopio, adquirido por CSIC en el 2022, está considerado como la herramienta de imagen y nanofabricación de ultra alta resolución, más potente actualmente. Posee una configuración única y singular a nivel europeo. Cuenta con tres haces de iones, Helio, Neón y Galio, posibilitando utilizar uno u otro en función del objetivo. Concretamente, el haz de helio permite fabricar estructuras por debajo de los 10 nm con una resolución inferior a 0.5 nm.
El Orion Nanofab, cuenta con un software avanzado y específico para el diseño y aplicación de patrones, NanoPatterning and Visualization Engine (NPVE). Asimismo, presenta un neutralizador de carga que emite electrones de bajo voltaje (Flood gun) para compensar la carga positiva de muestras semiconductoras o aislantes facilitando su visualización.
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50009 Zaragoza
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Además de estas características, se han adquirido y adaptado los siguientes complementos modulares que maximizan las posibilidades de uso de este instrumento, así como la naturaleza de los materiales de estudio.
– Crio-módulo (Quorum PP3010 cryo system): Temperatura de enfriamiento máxima -190 C. Especialmente útil para muestras blandas. Permite la fracturación a baja temperatura. En conjunto con el inyector de gases permite el depósito inducido de precursores, en condiciones criogénicas, con 3 iones diferentes (Cryo-FIBID).
– Sistema de Inyección de precursores (Gas Injection System, Oxford): W, Pt y XeF2.
Permite la formación de depósitos para protección de estructuras, conexión de las mismas, procesos de escritura directa de nanoestructuras o eliminación de material de forma masiva.
– Estación de 4 micropuntas (Kleindiek): Posibilita las medidas eléctricas de micro/nanoestructuras dentro del microscopio. También pueden ser empleados como nanomanipuladores.
– Pletina de micro- calentamiento/enfriamiento (Kleindiek): Intervalo de temperatura de trabajo de -55 a 125C. Permite trabajar con un mismo material, a temperaturas muy variadas y/o controladas para mejorar o estudiar procesos directamente relacionados con esta propiedad.
La utilización de estos complementos puede realizarse de forma combinada, lo que hace de este equipo una herramienta de microscopia y nanofabricación especialmente versátil.

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